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白光干涉薄膜厚度测量仪Delta
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用案例
应用领域? ? ? ??? ? ? ? ? ? ? ??
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)?、LED (SiO2、光刻胶ITO等）、触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)?、汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）、医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）
技术参数
型号 |
Delta-VIS |
Delta-DUV |
Delta-NIR |
波长范围 |
380-1050nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
厚度范围 |
50nm-40um |
1nm-30um |
10um-3mm |
准确度1 |
2nm |
1nm |
10nm |
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
入射角 |
90° |
90° |
90° |
样品材料 |
透〓明或半透明 |
透明或≡半透明 |
透明或半透明 |
测量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
光斑尺寸2 |
2mm |
2mm |
2mm |
是否能在线 |
是 |
是 |
是 |
扫描选择 |
XY可选 |
XY可选 |
XY可选 |
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较╲大者。
? ? ? ?2.?可选微◣光斑附件。
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